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    產(chǎn)品中心

    當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心測溫儀半導(dǎo)體&薄膜測溫Sekidenko OR4000T 半導(dǎo)體高溫計

    Sekidenko OR4000T 半導(dǎo)體高溫計
    產(chǎn)品簡介:

    Sekidenko OR4000T 半導(dǎo)體高溫計可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各種半導(dǎo)體工藝過程,應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片,外延,晶圓鍍膜等各種工藝的高精度測溫;OR4000T型具備多通道能力,支持高達(dá)2kHz的讀取速率,符合半導(dǎo)體應(yīng)用中極為嚴(yán)格的要求。

    其采用模塊化設(shè)計,可快速量身定制。

    產(chǎn)品廠地:上海市

    更新時間:2025-03-18

    廠商性質(zhì):代理商

    訪問量:1109

    服務(wù)熱線

    021-52966696

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    產(chǎn)品介紹

    主要特性

    優(yōu)點(diǎn):

    • 提高可重復(fù)性并顯著減小誤差提高生產(chǎn)率、產(chǎn)量和生產(chǎn)能力

    • ·提高多個腔室和基材的穩(wěn)定性和可靠性


    特點(diǎn):

    • ·主動輻射率檢測和補(bǔ)償

    • 溫度和輻射率讀取速率快

    • ·模塊化的結(jié)構(gòu)具有高靈活性

    • ·全套I/O和外部觸發(fā)器/同步組件


    技術(shù)參數(shù):

    概述:多通道,高性能,測量速度高達(dá)2kHz
    通道配置:1-4通道,帶可選/固定發(fā)射系數(shù),每個通道可單獨(dú)配置
    測溫范圍:50-3500°C
    實時發(fā)射系數(shù)范圍:
    測量波長:UV to 2300 nm
    讀取速率:高達(dá)2kHz
    測量精度:±1.5℃
    重復(fù)精度:±0.1℃℃,正常情況下
    分辨率:0.001℃C
    顯示:帶鍵盤輸入內(nèi)置,4x21LCD屏,
    數(shù)據(jù)I/O:RS-232,RS-422/486, and Ethernet
    模擬輸出:0-10V或4-21mA
    控制接口:外部觸發(fā)輸入,同步輸出,高低報警
    電源:交流:90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz直流:24V DC
    環(huán)境參數(shù):5-40℃,非冷凝
    物理尺寸:8.6 cm (H)x 15.2 cm (W) x 21.8 cm (D)
    重量:2.0kg
    安裝:底部M3X0.75螺孔
    采樣響應(yīng)時間:2kHz采樣速率時<2ms




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